SIM & Fokusvariation
- Umfassende 3D-Bildgebung: Eine äußerst detaillierte laterale Bildgebung mit SIM, während die Fokusvariation Informationen zu steilen Flanken erfasst.
- Vielseitigkeit: Ob glatte, raue, spiegelnde oder transparente Oberflächen, die duale Technologieplattform von Confovis kann alles mit nur einem System bewältigen.
- Artefaktfreie Daten: Sowohl SIM als auch FV gewährleisten artefaktfreie Messungen selbst auf den schwierigsten Oberflächen (wie z. B. dünnen Schichten)
confovis ·
Confovis ist spezialisiert auf innovative optische Messlösungen für die Anforderungen anspruchsvoller Industrien. Unsere Technologien Structured Illumination Microscopy (SIM) und Fokusvariation (FV) bieten eine Komplettlösung für die automatische optische Inspektion (AOI) und quantitative Bestimmung von Oberflächen, bezüglich Topographie, wie Form, Welligkeit und Rauheit.
Durch die Kombination von SIM und FV in einem System bietet Confovis ein einzigartiges und leistungsstarkes Messgerät zur Optimierung von Mess- und Defektinspektionsprozessen. Unabhängig davon, ob Sie mit komplexen Materialien, reflektierenden Oberflächen oder rauen Texturen arbeiten, sind die Technologien von Confovis darauf ausgelegt, präzise, zuverlässige und schnelle Ergebnisse bereitzustellen.
Structured Illumination Microscopy (SIM) ist die patentierte, innovative konfokale Messmethode von Confovis. Durch die Projektion einer Gitterstruktur auf die Probe mit zwei alternierenden LED-Lichtquellen (strukturierte Beleuchtung) werden phasenverschobene Bilder erzeugt. Diese Bilder werden mit modernen Berechnungsmethoden verarbeitet, um Bilder der Oberflächentopographie mit Nanometergenauigkeit zu erzeugen.
- Vertikale Auflösung: 3 nm.
- Laterale Genauigkeit (z.B. bei Line/Space-Strukturen): < 5nm
- Schnelle Akquisition: 60 optische Schnitte je Phase pro Sekunde.
- Materialunabhängig: Auch schwierige Materialkombinationen wie Gold auf Polymer, Chrom auf Glas, Oxidschichten auf Metall usw. können gemessen werden, ohne dass die Materialkombinationen bekannt sind.
- Vielseitigkeit: Ein breites Spektrum von Oberflächen kann gemessen werden, einschließlich glänzender, matter und transparenter Materialien.
Die Fokusvariation (FV) ist ein optisches Messverfahren, das sich für die Erfassung der 3D-Oberflächentopografie insbesondere bei rauen, nicht reflektierenden oder strukturierten Oberflächen, eignet. Durch die Bewegung des Objektivs entlang der vertikalen Achse und der Aufnahme von Bildern in verschiedenen Fokusebenen, erstellt die Fokusvariation eine hochgenaue 3D-Karte der Oberfläche. Das System identifiziert den Punkt, an dem jedes Oberflächenmerkmal am schärfsten ist, und bestimmt daraus die Höhe.
- Die Beleuchtung mit einem Ringlicht ermöglicht die Messung steiler Flanken unabhängig von der numerischen Apertur (NA) und damit von der Vergrößerung.
- Berührungslose Messung, die gewährleistet, dass die Oberflächen nicht beschädigt werden.
- Präzision im Nanometerbereich für Höhenmessungen.
Der Vorteil von Confovis liegt in der Integration von SIM und Fokusvariation in einer einzigen Messplattform. Diese einzigartige Kombination bietet die Möglichkeit, sowohl hochauflösende laterale Bildgebung als auch präzise vertikale Messungen mit einem einzigen Tool durchzuführen und deckt damit das gesamte Spektrum der Oberflächenprüfung ab.
- Umfassende 3D- Bildgebung: SIM ermöglicht eine äußerst detaillierte laterale Bildgebung, während FV präzise vertikale Informationen erfasst.
- Vielseitigkeit: Unabhängig davon, ob es sich um glatte, raue, spiegelnde oder transparente Oberflächen handelt, die duale Technologieplattform von Confovis kann alles bewältigen, ohne dass mehrere Systeme erforderlich sind.
- Geschwindigkeit und Effizienz: Mit schnellen Messzyklen und der Möglichkeit, zwischen verschiedenen Verfahren zu wechseln, sind unsere Systeme für Produktionsumgebungen mit hohem Durchsatz optimiert.
- Artefaktfreie Daten: Sowohl SIM als auch FV gewährleisten artefaktfreie Messungen selbst auf den schwierigsten Oberflächen, wie z. B. dünnen Filmen, mehrschichtigen Materialien und schwer zu messenden Texturen.
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