Die Messverfahren Fokusvariation und Konfokal-Messtechnik nach dem Arbeitsprinzip der Strukturierten Beleuchtung basieren beide auf einer Kontrast-Analyse und verzichten auf Interferogramme. Anders als bei konventioneller Konfokal-Mikroskopie finden bei dem Abtastverfahren keine rotierende Pinhole-Disk oder andere bewegte mechanische Bauteile wie Scanner-Spiegel Verwendung. Die notwendige akkurate Tiefenselektion wird stattdessen durch die Abbildung und anschließende Auswertung einer Sequenz von Beleuchtungsmustern in der Fokusebene gewährleistet. Hierfür ist eine statische Spezialmaske verantwortlich, welche die Strahlen der schnell geschalteten Lichtquellen koordiniert.
Vom CCD Sensor wird sowohl im Konfokal-Modus als auch bei der Fokusvariationsmessung der Kontrastwert ermittelt. Konfokal wird die Kontrastdifferenz den phasenverschobenen Sequenzen ausgewertet. Bei beiden Verfahren wird zur Bestimmung der Z-Koordinate die Tiefenunschärfe ausgenutzt und die Probe wird durch die Fokusebene gefahren.
Aus der bekannten relativen Z-Position in Verbindung mit dem Kontrastwert wird eine Höheninformation bestimmt. Die erzeugten Bildstapel enthalten die Höheninformationen. Das ermöglicht eine Bestimmung von Stufenhöhen, Radien und Winkeln und entsprechend auch von Rauheiten.
