Die Fokusvariation nutzt die limitierte Schärfentiefe der Objektive und den Kontrast der Oberfläche im scharfen Bereich der Abbildung aus. Über die Variation der Fokusposition ergibt sich die Höheninformation, die für eine 3D-Darstellung notwendig ist. Im Strahlengang werden eine Weißlichtquelle (LED) sowie zwei Teilerspiegel, die das Licht von der weißen LED in die Fokusebene sowie zurück auf die Kamera abbilden, verwendet. Zusätzlich kommt ein Ringlicht zur Anwendung, um auch Flankenwinkel größer als 80° zu beleuchten.
Für die Berechnung der Messdaten wird der Kontrastverlauf aus den aufgenommenen Bildern in unmittelbarer Nachbarschaft zueinander (z.B. 5×5 nebeneinanderliegende Pixel) verwendet. So ergibt sich für jeden Pixel eine Kontrastkurve entlang des Fokusverlaufs und somit durch einen Gauß-Fit entsprechende Höheninformationen für den Messpunkt.