confovis GmbH
- Schnelle und präzise Analyse anspruchsvoller Oberflächen
- Hohe vertikale Auflösung bis in den einstelligen Nanometerbereich
- Hoher Automatisierungsgrad unserer Messsysteme
Optische Rauheits- und Konturmessung mit höchster Präzision
Mit dem OEM-Modul bietet Confovis sein patentiertes optische Messverfahren (Structured Illumination Microscopy) Herstellern von Messmaschinen und Inspektionssystemen für Rauheitmessungen sowie Mikrokonturvermessungen. Das Modul verwendet weder Laserabtastung noch bewegliche Bauteile (wie Spiegel oder Multi-Pinhole-Disks), was es resistent gegenüber Erschütterungen macht. Daher ist es wartungsfrei und erzielt dauerhaft erstklassige Ergebnisse. Die 3D-Abtastung erfolgt in Fokus-Ebenen mittels einer strukturierten Beleuchtungssequenz.
Im Gegensatz zu bestehender konfokaler Messtechnik scannt das Confovis OEM-Modul eine Fläche nicht Punkt-für-Punkt bzw. Linie-für-Linie, sondern flächig – mit einer Datenqualität, die Standardabweichungen bei Rauheitsmessungen (zum Beispiel am Halle KNT 4070/03/A3 (Rz 0,45µ)) mit denen der physikalischen technischen Bundesanstalt vergleichbar macht. Auch empfindliche Oberflächen wie Polyamid Filme oder Diamantschichten können gemessen werden. Das System ist in der Lage unbekannte Oberflächen, ohne Zusatzwissen rückführbar auf allgmeingültige Standards und Normen zu messen.
Messung von Mikrostrukturen in der MEMS-Fertigung
Messung von Displaygläsern und Sensoren
Messung von Rauheit an komplexen Geometrien (wie Zerspanungswerkzeugen)
Messung von Mikrokonturen (wie Schneidkanten)
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