Ein einziges System für verschiedene Inspektionsaufgaben: automatische optische Inspektion (AOI) & Metrologie
Flexibilität: schnelle Anpassung des Systems an neue Anforderungen bei der Defekt Inspektion
Schweizer Taschenmesser: automatisierte Lösungen für 2D und 3D Messungen, SECS/GEM, verschiedene Handling-Lösungen für MEMS, Glass, Warped, Thin oder Taiko Wafer
Hohe Genauigkeit und Wiederholgenauigkeiten bei 2D und 3D Messaufgaben

confovis ⋯ Produkte ⋯ AOI Systeme ⋯ WAFERinspect AOI

Das Confovis WAFERinspect AOI System kombiniert verschiedenste Inspektionsaufgaben an strukturierten und unstrukturierten Wafern in nur einem System. Durch die Kombination von automatischer optischer Inspektion (AOI) und Metrologie bietet Confovis AOI Lösungen für Defect Inspection und Classification sowie 3D- und 2D-Messungen (Wafer Level Metrology) für MEMS, Advanced Packaging, RDL, Bumps, etc.

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Bei der Defect Inspection werden die Defekte auf den Wafern während des Scans durch die Golden Sample Methode erkannt und klassifiziert. Der entsprechende Klassifikator arbeitet mittels künstlicher Intelligenz merkmalsbasiert und bildbasiert und wird durch den Nutzer mit den Eigenschaften der gefundenen Defekte in Zugehörigkeit zu den entsprechenden Klassen trainiert. Dadurch ist vor dem Defect Scan kein Teaching der Defekte erforderlich und das System findet eigenständig die Abweichungen zwischen Golden Sample und dem Defect Scan.

Neben dem Defect Scan ermöglicht das von Confovis patentierte konfokale Messverfahren Structured Illumination Microscopy materialunabhängige und nanometergenaue Flächenscans mit 60 konfokalen Frames/Sekunde. Die Messungen erfolgen typischerweise in zwei Sekunden (120 Messebenen mit einem z-Bereich von 20 µm und einer Genauigkeit von < 4 nm), mit einem Messergebnis unabhängig vom Material der zu messenden Oberfläche. Auch schwierigste Kombinationen aus Passivierungsschichten und Kupfer können problemlos und ohne Vorwissen gemessen werden.

Die Wafer Inspect Software von Confovis bietet dem Nutzer durch Kombination von Easy Modes und Advanced Modes eine einfache Handhabung mit maximaler Flexibilität in der Auswertung durch „Geometry measurements“. Rezepte können in weniger als fünf Minuten erstellt werden. Die Defekterkennung und -auswertung erfolgt mit der vollständig integrierten und anpassbaren Software unseres Partners NeuroCheck.

WAFERinspect AOI in der Anwendung

WAFERinspect AOI Messaufgaben

Makrodefekte
Mikrodefekte
Partikel Inspektion
Golden Sample
Fehlererkennung mit KI (Deep Learning, Anomalie-Detektion)
Merkmalsbasierte Defekt-Klassifikation mit neuronalem Netz

Schichtdicke / Film Thickness / Layer Stack
Topographie
Koplanarität
Bumps
Koplanarität
Rauheit / Roughness
Stufenhöhe / step height

Defect Inspection und Review in einem Tool
Flexibilität in der Defekt Inspektion: schnelle Anpassung der Inspektion an neue Aufgaben mittels künstlicher Intelligenz
Kein Teaching der Defekte vor dem eigentlichen Defekt-Scan erforderlich
Umfangreiche 2D und 3D Messungen von verschiedensten Strukturen (wie Rauheit, Stufenhöhen, Slopes, Bumps, Saw Cuts, Flatness, Coplanarity, TSVs,…) und Oberflächen (Silizium, Epoxid, Glas, Chrom,…)
Sehr hohe Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit
Wafer von 2 Zoll – 12 Zoll (SEMI, JEIDA, non standard…)
Substrat-Handling: Wafer, Frame, Warped, Thin, Waffle Pack, Porous
Handling-Optionen für high warped wafer sowie Taiko Handling-Optionen
Flexible Plattform für weitere Sensorintegration
Online und offline review capability