AOI Systeme

confovis · Produkte · AOI Systeme
WAFERinspect AOI

Das Confovis WAFERinspect AOI System kombiniert verschiedenste Inspektionsaufgaben an strukturierten und unstrukturierten Wafern in nur einem System. Durch die Kombination von automatischer optischer Inspektion (AOI) und Metrologie bietet Confovis AOI Lösungen für Defect Inspection und Classification sowie 3D- und 2D-Messungen (Wafer Level Metrology) für MEMS, Advanced Packaging, RDL, Bumps, etc..

WAFERinspect AOI Dual

Das WAFERinspect AOI Dual ist ein AOI-Tool mit zwei High-End-Sensoren für die Halbleiterfertigung. Die beiden Sensoren ermöglichen eine zweipfadige Inspektion von Wafern bis zu 300 mm. Zunächst wird der gesamte Wafer innerhalb weniger Minuten gescannt, um Defekte zu identifizieren. Dann werden die betreffenden Strukturen mit dem ConfoCam-Modul auf nm-Genauigkeit analysiert.

SIE SUCHEN NACH EINER LÖSUNG FÜR IHRE APPLIKATION?

KONTAKTIEREN SIE UNS!

    *Pflichtfelder
    Hiermit bestätige ich, dass ich die Datenschutzerklärung gelesen habe.

    confovis GmbH