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Confovis ist Systemanbieter von optische 3D-Oberflächenmesssystemen für den industriellen und forschungsnahen Einsatz. Seit 2009 am Markt, setzt das Unternehmen auf kundennahe und anwendungsorientierte Lösungen. Mit seiner patentierten konfokalen Technologie der „Structured Illumination Microscopy“ (SIM) ergeben sich neue Möglichkeiten zur schnellen und nanometergenauen Oberflächenanalyse für industrielle Anwendungen. Mit der neuesten Gerätegeneration kombiniert Confovis konfokale Messtechnik und Fokusvariation in einem System. Damit bietet der Messtechnik-Spezialist Industriekunden aus den Bereichen Automotive, Werkzeug- und Maschinenbau, Metallurgie-, Halbleiter-, und optische Industrie eine zeit- und kostensparende Lösung für unterschiedlichste Messaufgaben zur Erweiterung des Prozessverständnisses.

Confovis ist Anbieter optischer Messtechnik aus Jena
Olympus Partnerschaft

2018 wurde nach zwei Jahren der Belieferung mit Objektiven eine Partnerschaft mit Olympus geschlossen, um Kunden zukünftig insbesondere bei Infrarot-Messaufgaben auf Basis der IR-tauglichen Olympus-Mikroskope Komplettlösungen für den Halbleiter-Bereich anbieten zu können.

Erhöhter Automatisierungsgrad

Mit der Produkteinführung der Messsysteme TOOLinspect, WAFERinspect, LEADinspect und ROLLERinspect im Jahr 2017 wurden nicht nur kundennahe Branchenlösungen geschaffen, sondern auch der Weg für eine einfache Bedienbarkeit und Unabhängigkeit von Benutzereinflüssen im industriellen Einsatz geebnet. Dabei wurde im Bereich Rauheitsmessung und Konturanalyse aus der Anforderung der bedienerunabhängigen Messung das Messsystem TOOLinspect implementiert, indem ein Messplan für wiederkehrende Messaufgaben zur Verfügung steht. Für die Halbleiter-Branche hat Confovis das Messsystem WAFERinspect entwickelt, welches rezeptbasiert 2D- und 3D-Messaufgaben automatisch ausführt. Für Messungen von Makro- und Mikrodrall an Wellen wurde gemeinsam mit dem Institut für Maschinenelemente der Universität Stuttgart (IMA) eine automatisierte Lösung erarbeitet, die in einem Messablauf Makrodrall nach MBN 31007-7 und Mikrodrall nach der Methode der IMA auswertet, welche im Messsystem LEADinspect vereint sind. Erklärtes Ziel ist, es eine Alternative zur Faden-Prüfmethode anbieten zu können.

Confovis ist Anbieter optischer Messtechnik
Erweiterung des Produktportfolios

Neben Standardsystemen auf Basis von Mikroskop-Komponenten wurde 2016 das Messsystem Duo Vario entwickelt, welches das patentierte konfokale Messverfahren (SIM) mit der Fokusvariation verbindet und ein wesentlich größeres Bildfeld besitzt. Darauf aufbauend wurden Gerätetypen als Granitaufbauten etabliert, um zukünftig auch große und schwere Bauteile vermessen zu können. Um den industriellen Anforderungen gerecht zu werden, wurden zudem weitere Achsantriebe und Handling-Einrichtungen zur Positionierung des Prüflings entwickelt.

Etablierung von Branchenlösungen für die Industrie

Ab 2015 richtete das Unternehmen sein Wirken noch stärker auf die einzelnen Branchen aus und setzte dort Messsysteme speziell für die Bedürfnisse der Zielbranchen um. Mit der Kombination aus konfokaler Messung und Fokusvariation konnten u.a. Kunden aus dem Werkzeug- und Maschinenbau bzw. der Automotive-Industrie gewonnen werden. Die Rückführbarkeit der Messergebnisse auf herstellerunabhängige Normale mit praxisnahen gedrehten und geschliffenen Strukturen, wie z.B. Raunormale der Firma HALLE, stand dabei im Vordergrund.

Zweites Messverfahren umgesetzt

Mit zwei Scan-Modulen im Portfolio sind die Messsysteme seit Ende 2015 noch flexibler. Das FocusCam® Scan-Modul steht dabei vor allem für Form- und Konturmessungen von Mikrostrukturen mit hohen Flankenwinkeln zur Verfügung. Es misst ausschließlich mit Fokusvariation. Bei anspruchsvolleren und umfangreichen Analysen von Form und Rauheit kommt das 2-in-1 Scan-Modul ConfoCam C1+ zum Einsatz. Mit diesem können auch spiegelnde Oberflächen nanometergenau gemessen werden, um Rauheitsparameter normgerecht und rückführbar zu ermitteln. 

Nikon Partnerschaft

Bereits 2010 wurden die ersten Geräte an Industriekunden und Forschungseinrichtungen verkauft, wobei sich der Bedarf nach Komplettlösungen für die Halbleiter-Industrie herauskristallisierte. Daher wurde 2011 eine Partnerschaft mit NIKON ins Leben gerufen, um auf Basis der NIKON Lichtmikroskope für die Wafer-Inspektion durch Verwendung der ConfoCam® ein 2D- und 3D-messendes System zu schaffen.

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