Optische Messsysteme

confovisOptische Messsysteme

Optische Messsysteme für eine nanometergenaue Oberflächenanalyse

Ausgehend von unterschiedlichsten Branchenanforderungen entwickelt Confovis optische 3D-Messsysteme zur Messung und Auswertung der Oberflächenbeschaffenheit. Die optischen Messsysteme werden dabei genau auf die Anforderungen der entsprechenden Branchen zugeschnitten und lassen sich dank des modularen Aufbaus bezüglich Größe, Ausstattung sowie Technologie an den Kundenbedarf anpassen.

Dabei stehen die optischen Messgeräte je nach Ausführung als manuelles, halbautomatisiertes oder sogar vollautomatisiertes Messsystem zur Auswahl. Sie können als Stand-Alone-System aber auch durch ihren Aufbau und vorhandene Schnittstellen in bestehende produktionsnahe Serienmesssysteme integriert werden.

Mit der zugehörigen Mess-Software von Confovis und entsprechend etablierter Auswertesoftware wie MountainsMap© oder GOM© werden Oberflächen, Mikrostrukturen etc. gemessen und anschließend ausgewertet. Im Rahmen der Qualitätssicherung ergeben sich dadurch eine deutliche Zeitersparnis, eine hohe Datenqualität und umfangreiche Messdaten, die zur Auswertung zur Verfügung stehen. Mit dem von Confovis patentierten optische Messverfahren können, im Gegensatz zu klassischen konfokalen Messverfahren, auch schwierigste Oberflächen (wie reflektierende, transparente oder diffuse Schichten) artefaktfrei gemessen werden.

Optische Messgeräte von Confovis

WAFERinspect

Zuverlässige 3D- und 2D-Messungen in der Halbleiterfertigung

LEADinspect

Messung von Mikro- und Makrodrall in einem Messablauf

TOOLinspect

Nanometergenaue Erfassung funktionstragender Oberflächen

ROLLERinspect

Automatische Defekterkennung und Defektvermessung

OEM-Modul

Das Confovis Messverfahren für Rauheits- und Mikrokonturvermessungen

Optische 3D Messung schwierigster Oberflächen

Bestimmte Oberflächenbeschaffenheiten erfordern aufgrund ihrer Strukturen eine gesamtheitliche Analyse durch optische Messsysteme. Mit Kombination von Konfokalmikroskopie werden Oberflächen in ihrer Gesamtheit sowohl hinsichtlich Mikrogeometrie, Rauheitsmessung und Isotropie als auch rückführbar auf die gängigen Tastschnittnormen DIN EN ISO 4287 und 13565 erfasst. Dadurch lassen sich beispielsweise auch schwierigste Oberflächenkombinationen artefaktfrei messen.

Ein Beispiel hierfür sind Kontaktierungen (meist Gold) eines USB Sticks, die in Isolationsmaterial (meist Kunststoff) eingebettet sind und aufgrund der unterschiedlichen Materialien andere 3D-Messgeräte auf die Probe stellen. Mit den optischen 3D-Messsystemen von Confovis lassen sich solch schwierige Werkstoff- und Oberflächenkombinationen ohne den Einsatz von Filtern erfassen. Das gleiche gilt für extrem harte Schichten (z.B. DLC-Beschichtungen oder amorphe Kohlenstoffschichten), bei denen eine Erfassung in jedem Prozessschritt erfolgen kann. Durch die oftmals zufällig verteilten Strukturelemente dieser Oberflächen ergibt sich durch den Einsatz von Confovis Messsystemen eine bessere Kennwertstabilität als bei taktilen Messgeräten.

Optische Messung mit Confovis

Ob in der Produktion, Reinraum, Testlabor oder im Bereich Forschung & Entwicklung: die Confovis Messsysteme lassen sich leicht integrieren, einfach bedienen und messen selbst in rauen Umgebungsbedingungen hochgenau bis in den einstelligen Nanometer-Bereich. Zudem sparen sie wertvolle Zeit dank ihrer hohen Messgeschwindigkeit.

  • Keine Verwendung von Rauschfiltern, komplette Transparenz der Rohdaten
  • Messung auf spiegelnden, transparenten und diffusen Oberflächen
  • Rückführbare Rauheitsmessung auf beliebige Raunormale
  • Einfache Bedienung: 3 Klicks zur Messung, 1 Klick zur Auswertung
  • Kurze Messzeit: vergleichbar zu einem Taster
  • Automatisierung und QS-Datenbankschnittstellen

Die optischen Messsysteme von Confovis sind integrierbar

In Messmaschinen und Inspektionssystemen finden sich detailreiche Oberflächenmessungen bisher nicht standardmäßig, weswegen Rauheit, Welligkeit oder Dimension an mindestens zwei verschiedenen Messstationen gemessen werden müssen. Dies erfordert einen erhöhten Aufwand und somit eine höhere Messzeit. Eine einfache Integration in industrielle Messgeräte wird durch die robuste Bauweise (keine beweglichen Teile) gewährt. Dies lässt Transferzeiten wegfallen und zudem wird eine einheitliche Datenerfassung gewährleistet.

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