Case Study

Optical High-Resolution Image-Based Defect Inspection on Compound Semiconductors

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Höchste Präzision und Zuverlässigkeit bei der Erkennung von Defekten in Verbindungshalbleitern mit einer KI-gesteuerten, hochauflösenden optischen Inspektionslösung

Mit der steigenden Nachfrage nach kleineren, schnelleren und energieeffizienteren integrierten Schaltkreisen haben Verbindungshalbleiter im Vergleich zu Silizium erheblich an Bedeutung gewonnen. In dieser Case Study wird eine neue Lösung beschrieben, die auf hochauflösenden Bildern von einem automatischen optischen Inspektionssystem (AOI) in Kombination mit einem auf künstlicher Intelligenz basierenden Ansatz zur Fehlererkennung und -klassifizierung basiert.

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